低溫泵又叫低溫真空泵、冷泵、冷凝泵。是利用低溫制冷機作為冷源（10K），通過低溫冷凝和低溫吸附的原理獲得高真空的設備。
海邁公司提供的DZB系列低溫泵具體如下優(yōu)點：
1）極限真空高；
2）抽速大；
3）真正潔凈；
4）運行成本低；
5）安全可靠；
6）使用方便；
7）壽命長。
DZB系列低溫真空泵應用領(lǐng)域
低溫泵適合用于希望獲得10－1Pa至 10－9Pa真空度的場合，尤其適合應用于要求潔凈無油和/或快速抽氣的場合，例如：
1）真空排氣設備
2）濺射鍍膜設備
3）蒸發(fā)鍍膜設備
4）離子注入設備
5）分子束外延設備
使用以上設備的工業(yè)真空鍍膜，例如：半導體與集成電路前工序、光學鍍膜、太陽能電池板、光電子器件和真空電子器件制造、平板顯示器件鍍膜
1）電子束設備
2）空間模擬裝置
3）高能物理研究裝置
4）加速器束流管
5）表面分析裝置
